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MKS Instruments

Inc. (NASDAQ: MKSI) habilita tecnologías que transforman nuestro mundo. Brinda soluciones tecnológicas fundamentales para la fabricación de semiconductores, electrónica y embalaje de vanguardia, y aplicaciones industriales especializadas.

MKS - Marca representada por Telstar

Aplican sus amplias capacidades de ciencia e ingeniería para crear instrumentos, subsistemas, sistemas, soluciones de control de procesos y tecnología de productos químicos especializados que mejoren el rendimiento de los procesos, optimicen la productividad y permitan innovaciones únicas para muchas de las empresas industriales y de tecnología líderes en el mundo. Las soluciones son fundamentales para abordar los desafíos de la miniaturización y la complejidad en la fabricación de dispositivos avanzados al permitir una mayor potencia, velocidad, mejora de funciones y conectividad optimizada. También son fundamentales para abordar los requisitos de rendimiento cada vez mayores en una amplia gama de aplicaciones industriales especializadas.

MKS instrumentación colabora con clientes en las industrias de monitorización medioambiental, defensa y seguridad, ciencias de la vida e investigación, procesos y fabricación industrial, al igual que en la industria de materiales de capa fina para desarrollar soluciones innovadoras a sus desafíos tecnológicos más duros.

Productos

FTIR y NDIR

Los instrumentos analizadores de gases por espectroscopia infrarroja por transformada de Fourier (FTIR) de MKS Instruments tienen una sensibilidad de ppb a ppm para múltiples especies de gases en una variedad de aplicaciones de análisis de gases, como detección de gases tóxicos, medición de emisiones automotrices y monitoreo de emisiones de chimeneas, procesos, aire ambiente, pureza y Rendimiento de reducción catalítica selectiva.

Los analizadores de aire ambiente AIRGARD® y AIRGARD® Plus son analizadores de gases ultrasensibles basados ​​en FTIR diseñados para detectar rápidamente gases tóxicos.

Los analizadores MultiGas 2030 basados ​​en FTIR son capaces de medir sensibilidad ppb para múltiples especies de gases en una variedad de aplicaciones. El analizador MultiGas 2030 puede realizar análisis en corrientes de gas que contienen hasta un 40 % de agua y puede analizar y mostrar simultáneamente más de 30 gases.

MGS300-KIT proporciona a los integradores acceso a componentes clave utilizados en el sistema de monitoreo continuo de emisiones (CEMS). El sistema MGS300 es un sistema diseñado para proporcionar un monitoreo confiable de las emisiones de fuentes estacionarias, incluidos incineradores de desechos municipales e industriales, plantas de energía, hornos de cemento y otras fuentes de emisiones de ubicación fija.

Process Sense™ NDIR End Point Detector for Chamber Clean, es un sensor SiF4 pequeño y de bajo costo diseñado específicamente para la detección remota de punto final de limpieza de cámara de plasma para cámaras de deposición de CVD basadas en silicio. Process Sense se basa en la absorción infrarroja, la única técnica aplicable a todos los procesos de limpieza por plasma (in situ y remotos).

MKS MultiGas™ TFS™ Gas Monitor for Multi-Compound Gas Analysis

Espectrómetros de filtro sintonizable (TFS)

La plataforma de analizadores ópticos innovadores de MKS Instruments basada en espectroscopia de filtro sintonizable (TFS™) proporciona análisis de gases en tiempo real, al tiempo que ofrece a los clientes un costo total de propiedad sustancialmente menor.

MultiGas™ TFS™ Gas Monitor for Multi-Compound Gas Analysis El monitor MultiGas™ TFS™ es un sistema de monitoreo de gases traza de múltiples compuestos en línea en un gabinete de rack independiente de 19 pulgadas. Utiliza una innovadora tecnología de espectroscopia de filtro sintonizable que permite una medición de alta selectividad y estabilidad. El límite de detección bajo (niveles inferiores a ppm para la mayoría de los gases) se logra mediante el uso de ópticas de alto rendimiento junto con una celda de gas de largo recorrido y un detector de alta sensibilidad.

Analizadores de Gas residual

Los analizadores de gas residual (RGA) son una herramienta eficaz para analizar las cargas de gas del sistema resultantes de fugas reales, fugas virtuales o desgasificación de la pared de la cámara. Los RGA tienen múltiples ventajas sobre los detectores de fugas de gas específicos tradicionales, como la capacidad de diferenciar entre varias especies de gas con niveles de sensibilidad comparables a los sistemas clásicos, la capacidad de detectar fugas internas o «virtuales», al igual que detectar y analizar los problemas de desgasificación.

El analizador de gases residuales Microvision 2 es la última innovación en tecnología RGA de MKS, diseñado para cumplir con todos los requisitos tradicionales de un sensor RGA pero con recopilación de datos a velocidades inalcanzables con tecnologías de generación anterior. Además, Microvision 2 está diseñado para recopilar datos a velocidades de milisegundos por punto de datos, incluso cuando se miden datos en todo el rango dinámico del RGA.

El e-Vision 2 RGA forma parte de una nueva gama de productos de análisis de gases residuales de MKS Instruments, diseñados para cumplir con todos los requisitos tradicionales de un sensor RGA, pero con recopilación de datos a velocidades inalcanzables con tecnologías de generación anterior. El e-Vision 2 RGA está diseñado para ofrecer la máxima relación calidad-precio.

El HPQ3 RGA permite el funcionamiento hasta 0,001 Torr sin necesidad de bombeo diferencial. El sistema resultante es menos complejo, con requisitos de instalación reducidos y ofrece un mayor nivel de confiabilidad a un costo sustancialmente menor.

Los analizadores de gas residual HPQ3S permiten un funcionamiento de hasta 0,008 Torr sin necesidad de bombeo diferencial. HPQ3S utiliza algoritmos de corrección validados por aplicaciones para compensar la variación de sensibilidad que surge de las interacciones ion-molécula en la fuente de iones a presiones más altas.

Analizadores de Gas a Presión atmosférica

Los espectrómetros de masas de un solo cuadrupolo Cirrus™ son potentes herramientas analíticas para una amplia gama de aplicaciones de análisis de gases industriales y de laboratorio. La familia Cirrus, que incluye los sistemas de monitoreo de gas a presión atmosférica Cirrus™ 3 y Cirrus™ 3-XD, es ideal para el análisis de gas a granel, su composición y la detección de trazas de gases y contaminación. Estas plataformas potentes, versátiles y personalizables, cuando se combinan con el software Process Eye™ Professional y su control basado en recetas, pueden aumentar significativamente su productividad.

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