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AJA International

AJA es un fabricante de sistemas de deposición de película delgada que incorporan diferentes técnicas como pulverización de magnetrón, evaporación de haz electrónico, evaporación térmica y sistemas de bombardeo de iones.

AJA International - Marca representada por Telstar

Fundada en Scituate, MA, EE. UU. en 1989 por William Hale, MBA, BS Physics, la compañía se estableció como un proveedor de productos innovadores de deposición física en fase vapor (PVD). Con muchos sistemas y fuentes de magnetrón distribuidas mundialmente, AJA International, Inc. continúa descubriendo soluciones de diseño innovadoras que a menudo se copian, pero nunca se igualan. La empresa sigue siendo realmente la innovación en la tecnología de capa fina.

El equipo más característico de AJA es el modelo estándar compacto “Orion” que, con una disposición confocal de las fuentes de sputtering y un sistema de rotación del sustrato, proporciona al usuario la capacidad de realizar sistemas multicapa con una excelente uniformidad.

Además, las fuentes de alimentación y los magnetrones de AJA se pueden pedir en diferentes tamaños y configurados completamente a medida, para incorporar a sistemas de deposición de diseño propio.

Productos

Sistemas de pulverización catódica

AJA ofrece sistemas de pulverización catódica con magnetrón HV y UHV para deposición física de vapor a escala de investigación. Estos sistemas de pulverización catódica se pueden configurar en orientación confocal, de incidencia normal, fuera de eje, de ángulo de mirada o en una combinación de orientaciones de objetivo a sustrato. Las características del soporte de sustrato incluyen calentamiento radiante (1000°C), rotación azimutal, polarización RF/DC, movimiento z, enfriamiento (H2O o LN2), inclinación o movimiento planetario.

Sistemas de evaporación

Los sistemas ATC-E (evaporación por haz de electrones) y ATC-T (evaporación térmica) de AJA International son herramientas de recubrimiento HV y UHV altamente evolucionadas diseñadas para la deposición de películas delgadas a escala de I+D. Estos sistemas cuentan con bloqueos de carga, fuentes de asistencia de iones/molino de iones, soportes de sustrato calentados/enfriados, control de deposición/control por computadora QCM y fuentes de deposición térmica de 300 amperios enfriadas por agua exclusivas de AJA.

Sistemas de molienda de iones

Los sistemas de fresado de iones ATC-IM de AJA International   son herramientas versátiles que se construyen en una variedad de configuraciones según los requisitos específicos. Estos sistemas se pueden configurar para una amplia gama de aplicaciones que van desde la delimitación de nanopatrones hasta la planarización de obleas en masa. Los sistemas se han fabricado para emplear gases de proceso tanto inertes como reactivos/corrosivos con la caja de gas de seguridad adecuada incluida en el equipo.

AJA ATC-2200-HY

Sistemas de recubrimiento híbridos

Los sistemas híbridos de la serie ATC-M de AJA International son herramientas versátiles que combinan varias operaciones analíticas, de deposición de películas delgadas y de molienda de iones en una sola cámara (sistemas híbridos) para permitir la transferencia in situ de sustratos de un proceso a otro sin romper el vacío.

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