AJA International

AJA es un fabricante de sistemas de deposición de película delgada que incluyen pulverización de magnetrón, evaporación de haz electrónico, evaporación térmica y sistemas de bombardeo de iones.

Fundada en Scituate, MA, EE. UU. en 1989 por William Hale, MBA, BS Physics, la compañía se estableció como un proveedor de productos innovadores de deposición física en fase vapor (PVD). Con muchos sistemas y fuentes de magnetrón distribuidas mundialmente, AJA International, Inc. continúa descubriendo soluciones de diseño innovadoras que a menudo se copian, pero nunca se igualan. La empresa sigue siendo realmente la innovación en la tecnologia de capa fina.

VISIÓN GENERAL DE LOS SISTEMAS

AJA International, Inc. ha desarrollado muchas herramientas y componentes de I+D y a escala de producción piloto de gran éxito para la deposición física de vapor (PVD) y el bombardeo de iones (ion milling):

 

Equipos de Sputtering

  • Equipos de Sputtering compactos – amplia capacidad de versiones HV y UHV para presupuestos limitados.
  • Equipos insignia de Sputtering – herramientas más grandes, semi-personalizadas, HV y UHV con la máxima flexibilidad.
  • Equipos de recubrimiento por lotes – herramientas de alta disponibilidad diseñadas a medida para ejecuciones de producción a escala piloto.

 

Equipos de Ion Milling

  • Equipos de bombardeo de iones – herramientas de grabado físico en varios tamaños con refrigeración por sustrato y detección de punto final SIMS. Fuentes de iones RF y DC disponibles de hasta 22 cm de diámetro.  Conveniente acceso de riel para fuentes más grandes.

 

Equipos de Evaporación

  • Equipos de Evaporación E-Beam – De HV y UHV con e-guns para depósitos rotatorios.
  • Equipos de Evaporación Térmica – De HV y UHV con fuentes AJA de 300 A refrigeradas por agua.

 

Equipos Multitécnica

  • Equipos Multi-Cámara – con deposito, bombardeo, evaporación, recocido, PLD, precámara de carga y análisis en compartimentos conectados.
  • Equipos Híbridos – compartimentos individuales con precámara de carga con alguna combinación de deposición, bombardeo, evaporación, recocido, PLD y análisis.

 

Componentes de Sputtering

  • Materiales de Sputtering y Evaporación – Materiales circulares y rectangulares en todos los tamaños.  Materiales comunes, personalizados y preciosos, con o sin placas de soporte y aislantes magnéticos disponibles. Materiales de evaporación en forma de pellet y alambre.  Materiales comunes, personalizados y preciosos para la evaporación térmica y de haz de electrones disponibles.

 

La herramienta de deposición híbrida de varias cámaras ATC-HY combina dos cámaras de proceso híbridas, cada una con haz electrónico y evaporación térmica, pulverización de magnetrón confocal, grabado de haz iónico con una inclinación de 360 grados y un soporte de sustrato refrigerado por agua. Además, una tercera cámara de proceso cuenta con capacidad de recocido posterior, oxigenación y capacidad de calcinación. Todos están conectados a través de un tubo de transferencia magnética UHV con aislamiento seccional, bloqueo de carga integral y compatibilidad con caja de guantes.

El sistema de revestimiento rodante está diseñado para acomodar rollos de PET, PEN, Kapton de hasta 6 ” de ancho x 700′ de largo. Equipado con (4) fuentes rectangulares de magnetrón optimizadas para metales de alta velocidad, materiales magnéticos, dieléctricos y metales preciosos con monitores de cristal individuales para el control de velocidad y sistema de enmascaramiento in-situ para el modelado del entramado. El avanzado sistema de manejo del entramado incluye un funcionamiento bidireccional con descarga de doble cara para desgasificación de rodillos, rodillos refrigerados por agua para minimizar la temperatura del rollo y sistema de guiado láser para evitar que el rollo se doble en los rodillos de toma y alimentación.


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