Semilab

Semilab tiene una sólida formación científica y una larga historia de excelente cooperación con clientes académicos con el fin de desarrollar soluciones a medida para aplicaciones de I+D en semiconductores, fotovoltaica, pantallas planas, películas de capa fina y diversas ramas relacionadas con la ciencia de materiales.

Todos los sistemas son versátiles y ofrecen una amplia gama de configuraciones para satisfacer la más amplia variedad de necesidades.

La elipsometría es una técnica de medición óptica absoluta que sigue el cambio de polarización de la luz a medida que pasa a través de un medio. La fase de la luz polarizada presenta una distorsión debido a la estructura de la capa durante la reflexión, lo que permite obtener propiedades de la estructura de los materiales del medio.

La elipsometría es una metrología indirecta, por lo que el modelado y ajuste de parámetros es la clave para extraer los valores del espesor de las capas y del índice de refracción. El software de Semilab proporciona una amplia gama de métodos para construir estos modelos, así como algoritmos de gran potencia para ajustar los parámetros y obtener así los valores de interés.

Los elipsímetros de SEMILAB se venden en configuraciones de todo tipo, desde sistemas de iniciación tipo bench-top (modelo SE-1000), hasta sistemas avanzados como el SE-2000, que permite incorporar una gran variedad de accesorios: mapeos automáticos, cabezales de cuatro puntas (4PP), celda de líquidos, celda electroquímica, carga automática, etc.

Productos

SE-1000 Spectroscopic Ellipsomete

SE-1000 proporciona un alto rendimiento de medición en un tamaño compacto. Esta herramienta incluye un goniómetro y un posicionamiento manuales de muestras adecuado para laboratorios de I+D. Realiza mediciones ópticas sin contacto y no destructivas en sustratos, muestras de una sola capa y de múltiples capas para obtener propiedades ópticas y espesores de películas delgadas individuales. SE-1000 incluye la nueva electrónica inteligente de Semilab con componentes intercambiables y funciona con el software operativo y de análisis de nueva generación (SAM/SEA).

SE-2000 Spectroscopic Ellipsometer

SE-2000 presenta el rango espectral más amplio disponible en una sola herramienta. El rango va desde el UV profundo (190 nm) hasta el IR medio (25 μm). La herramienta se ofrece exclusivamente con un cabezal de elipsómetro FTIR opcional en el mismo goniómetro con los brazos visibles. Se puede configurar con el modo de detección rápida utilizando un espectrógrafo y una matriz de detectores, con el modo de alta resolución utilizando un espectrómetro y detectores de un solo punto, o con ambos modos juntos en la misma herramienta.

R2R SE – Roll-to-Roll Spectroscopic Ellipsometer

La determinación inmediata de la uniformidad y homogeneidad de la película son factores importantes para el control del proceso de calidad del recubrimiento in situ. La elipsometría espectroscópica (SE), como método de medición, garantiza la medición rápida y confiable requerida por la caracterización de recubrimientos de películas delgadas sobre sustratos de láminas delgadas. La novedosa plataforma de metrología R2R SE de Semilab ofrece determinación del índice de refracción y del espesor de múltiples capas directamente después del proceso de recubrimiento en una lámina de rollo a rollo en movimiento sobre la marcha con un tiempo de adquisición inferior a 100 ms por punto.