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MKS

MKS Instruments, Inc.  habilita tecnologías que transforman nuestro mundo. BrindaN soluciones tecnológicas fundamentales para la fabricación de semiconductores, electrónica y embalaje de vanguardia, y aplicaciones industriales especializadas

MKS - Marca representada por Telstar

Aplican amplias capacidades de ciencia e ingeniería para crear instrumentos, subsistemas, sistemas, soluciones de control de procesos y tecnología de productos químicos especializados que mejoren el rendimiento de los procesos, optimicen la productividad y permitan innovaciones únicas para muchas de las empresas industriales y de tecnología líderes en el mundo. Sus soluciones son fundamentales para abordar los desafíos de la miniaturización y la complejidad en la fabricación de dispositivos avanzados al permitir una mayor potencia, velocidad, mejora de funciones y conectividad optimizada. Además, también son fundamentales para abordar los requisitos de rendimiento cada vez mayores en una amplia gama de aplicaciones industriales especializadas.

Productos

Manómetros de capacitancia Baratron®

Los manómetros de capacitancia MKS Baratron® son altamente precisos y repetibles, insensibles a la composición del gas, compactos y fáciles de interconectar con la mayoría de las herramientas de proceso. Fabrican medidores de diafragma casi exclusivamente utilizando aleaciones a base de níquel como Inconel®, Incoloy® y otras. Esto los hace altamente resistentes a la corrosión cuando los materiales se adaptan al proceso. Sus sensores están completamente soldados y 100% verificados contra fugas antes del ensamblaje. En caso de un fallo extremadamente raro del diafragma, los gases de proceso quedan completamente contenidos dentro del sensor, evitando el escape al ambiente exterior. Ningún otro manómetro o vacuómetro ofrece ese nivel de seguridad.

Transductores e interruptores de presión de rendimiento general. Estos manómetros de capacitancia Baratron® de rendimiento general están disponibles como transductores de presión con una señal analógica proporcional a la presión absoluta o diferencial, o como interruptores con salidas de relé basadas en la presión.

Transductores de presión industriales. Estos manómetros de capacitancia industriales Baratron® cuentan con gabinetes industriales y rangos de temperatura de funcionamiento más altos para aplicaciones de medición de presión industrial.

Transductores de presión de referencia. Estos manómetros de capacitancia Baratron® ofrecen nuestro más alto nivel de precisión en la medición de presión, lo que los hace ideales para estándares de transferencia de calibración.

Carros de calibración portátiles Baratron®. Los carros de calibración Baratron® permiten la verificación in situ de la precisión del medidor de proceso y la consistencia entre herramientas.

Fuentes de alimentación y pantallas Baratron®. Estas pantallas y fuentes de alimentación Baratron® se utilizan para alimentar manómetros de capacitancia y/o mostrar la señal de salida de presión en unidades de presión.

Sistemas de aislamiento Baratron®. Estos sistemas de aislamiento están diseñados para mantener automáticamente un manómetro capacitancia Baratron® calentado en vacío durante todo el ciclo del proceso. Mantener un manómetro capacitancia Baratron® calentado al vacío es una de las formas más importantes de optimizar su precisión y repetibilidad en los sistemas de producción, lo que hace que este producto sea especialmente adecuado para procesos de fabricación de semiconductores e industriales de ciclo rápido.

Controladores y medidores de flujo de masa

Controladores y medidores de flujo de masa

Soluciones integradas para aplicaciones específicas para la entrega de materiales avanzados. Los controladores y medidores de flujo de masa están disponibles en tecnologías de sensores basados ​​en presión y térmica, comunicación analógica y digital y sellos metálicos o elastómeros. Permitir que los clientes lleven sus productos y procesos al mercado de manera más rápida, confiable y rentable es el núcleo de nuestra filosofía de diseño de productos de control y medición de flujo.

Controladores de flujo másico. Habilitando la productividad a través de la innovación en el control de flujo. La amplia gama de controladores de flujo másico está disponible en tecnologías de sensores basados ​​en presión y térmica, comunicación analógica y digital y sellos metálicos o elastómeros.

Medidores de flujo másico. Nuestra amplia gama de medidores de flujo másico está disponible en tecnologías de sensores basados ​​en presión y térmica, comunicación analógica y digital y sellos metálicos o elastómeros.

Verificador de flujo másico in situ de alta precisión permite la combinación «oblea a oblea», «cámara a cámara» y «herramienta a herramienta».

El verificador de flujo másico de alta precisión HA-MFV está diseñado para usarse en herramientas de proceso para verificar los caudales de control de flujo másico in situ.

Controladores de relación de flujo. Optimizar el rendimiento del proceso ahora es más fácil con el controlador de índice de flujo (FRC) DELTA™. Ampliamente utilizado en una variedad de aplicaciones de división de flujo, brinda a los usuarios la capacidad de distribuir gas o mezclas de gases a diferentes zonas en una cámara de proceso.

Controladores de presión integrados aguas arriba y aguas abajo. Los controladores de presión integrados se utilizan con cámaras de vacío para controlar el flujo de gas que entra y sale de la cámara de vacío. Los controladores de presión integrados MKS incluyen medición de presión Baratron®, válvulas de control de flujo de solenoide y electrónica de control integrada.

Generadores y sistemas de microondas

MKS ofrece sistemas y generadores de microondas industriales compactos en 915 MHz y 2450 MHz que se adaptan a una amplia gama de aplicaciones que incluyen embalaje de alimentos y bebidas, procesos medioambientales e industriales avanzados como recubrimiento, crecimiento de materiales y automoción. Con un diseño de chasis de sistema de energía modular y robusto y una gestión electromagnética y de filamentos avanzada, los generadores de microondas MKS están diseñados para durar. Los generadores de microondas están equipados con topología de modo conmutado para todos los rangos de potencia y admiten una variedad de protocolos de comunicación de bus de campo.

Generadores de Microondas Industriales de 915 MHz. Los generadores de microondas industriales de la serie Alter® GS proporcionan una potencia de 15 kW a 75 kW a 915 MHz en un gabinete blindado con control de línea eléctrica continua, enclavamientos de seguridad, una variedad de opciones de interfaz y control remoto opcional. Esta solución permite actualizaciones de energía para las necesidades de instalación industrial, ofreciendo la máxima flexibilidad en el diseño del sistema.

Generadores de Microondas Industriales de 2450 MHz. Los generadores de microondas industriales Alter® de 2450 MHz se basan en la experiencia del producto MKS Alter® y están diseñados con fuentes de alimentación de modo conmutado resistentes y confiables para aplicaciones industriales exigentes.

Generadores de microondas inteligentes SmartPower®. Los generadores de energía de microondas inteligentes SmartPower® serie AX2500 se basan en una experiencia comprobada en el diseño de generadores de energía de microondas resistentes y confiables para aplicaciones industriales y de fabricación de semiconductores exigentes.

Válvulas de presión mks collage

Controladores de presión y válvulas

Nuestras soluciones innovadoras para el control de la presión de vacío están respaldadas por nuestro incesante enfoque en la excelencia operativa para garantizar su éxito al mejorar la productividad de los procesos de vacío.

Controladores de presión integrados aguas arriba y aguas abajo. Los controladores de presión integrados se utilizan con cámaras de vacío para controlar el flujo de gas que entra y sale de la cámara de vacío. Los controladores de presión integrados MKS incluyen medición de presión Baratron®, válvulas de control de flujo de solenoide y electrónica de control integrada.

Válvulas de control de flujo aguas arriba. Las válvulas de control de flujo aguas arriba son válvulas de control dosificadoras diseñadas para un control preciso de los flujos gaseosos aguas arriba del proceso.

Válvulas de aislamiento de vacío, MKS es líder en válvulas de aislamiento de vacío de alta confiabilidad. Nuestras válvulas de aislamiento de vacío incluyen válvulas selladas con fuelle, válvulas de bola, válvulas de doble etapa de arranque suave y válvulas de cierre de seguridad. Están disponibles en una amplia gama de configuraciones, incluidos actuadores manuales, neumáticos y electromagnéticos.

Válvula de compuerta de vacío Serie R. La válvula de compuerta de vacío MKS serie R está optimizada para el aislamiento de bombas y líneas de desbaste en aplicaciones de vacío general y de semiconductores. La válvula de compuerta Serie R está disponible con una variedad de opciones, que incluyen actuadores neumáticos y manuales, capacidad de bloqueo y etiquetado e indicadores de posición.

Válvulas de mariposa de mariposa para control de presión aguas abajo. Las válvulas reguladoras de escape T2BA EtherCAT®, RS232, RS485 y DeviceNet® con controlador integrado están diseñadas específicamente para aplicaciones donde se desea un sistema de control de presión simple pero avanzado. El T2BA integra todos los circuitos de control, comunicación y controlador dentro de un conjunto de válvula de mariposa, eliminando la necesidad de montar un módulo electrónico de control de presión separado.

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